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高純?nèi)?11和高純?nèi)然?11(純度 99.999%以上)

產(chǎn)品介紹

     三氟化硼(11BF3)等氣體可以通過外延生長、離子注入、摻雜、刻蝕、清洗、掩蔽膜生成等關(guān)鍵工藝使硅材料(晶圓基底材料)具備半導(dǎo)體等光電性能,它決定了集成電路、半導(dǎo)體材料的性能、集成度、成品率,被稱為半導(dǎo)體集成電路制造的“糧食”或“源”。還廣泛應(yīng)用于光電子、化合物半導(dǎo)體、太陽能光伏電池、液晶顯示器等領(lǐng)域。

質(zhì)量指標(biāo)

項目 指標(biāo)
11BF3 ≥99.999%
CO <0.5ppm
CO2 <0.5ppm
N2 <1ppm
O2 <3ppm
SiF4 <2ppm
SO2 <2ppm
硫酸鹽(Sulfates) <0.5ppm
THC(以甲烷計) <0.5ppm

應(yīng)用領(lǐng)域

     廣泛應(yīng)用于光電子、化合物半導(dǎo)體、太陽能光伏電池、液晶顯示器、光導(dǎo)纖維制造等領(lǐng)域。

 

 

 





  上一條產(chǎn)品: 高豐度核級硼-10酸
  下一條產(chǎn)品: None

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